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工作原理
1.非接觸式激光測厚儀由專用的激光器產(chǎn)生很細(xì)的線型光束,以一定的傾角投射到待測量目標(biāo)上,由于待測量目標(biāo)與周圍基本存在高度差,此時(shí)觀測到的目標(biāo)和基板上的激光束相應(yīng)出現(xiàn)斷續(xù)的誤差,根據(jù)三角函數(shù)關(guān)系可以用觀測到的落差計(jì)算出待測目標(biāo)與周圍基板存在的高度誤差,從而實(shí)現(xiàn)非接觸式的快速測量.
技術(shù)參數(shù)
1.測量原理:非接觸式,0.005mm鐳射激光線
2.測量精度:正負(fù)0.002mm
3.重復(fù)測量精度:0.002mm
4.重量與外形:60KG W600*D550*H650mm
5.移動(dòng)平臺:X,Y電磁鎖閉平臺可任意移動(dòng)
6.視場:10*7.5-1.2*0.8可調(diào)節(jié)
7.影像系統(tǒng):高清彩色CCD攝像頭
8.照明系統(tǒng):高亮度環(huán)形LED無影光源
9.測量光線:可低至5微米高度激光束
10.容納較大面積:400*600
11.可測量元件:0201 01005 0.2mm細(xì)間IC BGA /CSP
